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Model 225
超高純壓力變送器

Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設計用于半導體工藝過程中的超高純氣體輸送系統以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩定性的控制應用。

GCT-225 系列采用可旋轉的外罩結構，用戶可方便地調節用于零點和量程微調的 12 圈電位計。標準的旋轉外螺紋 /內螺紋端面密封壓力接口可滿足半導體行業的要求。此外，該系列產品還選用多種其他接口類型。GCT-225 系列產品提供 5 VDC、10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或 M12x1 接頭進行電氣連接。

GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 專利的可變電容技術，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構成可變電容。當氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉換為高精度的線性直流電信號。Setra 獨特的定制集成電路采用專利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/RFI 干擾。

在制造和裝配完成后，Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣充注和密封等處理，最后才發貨。

注：Setra 的質量標準是根據 ANSI-Z540 制定的。該產品的標定具有 NIST 可追蹤性，美國專利號。

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性
· 316 L VIM/VAR 不銹鋼
· 表面拋光度 7 Ra
· VCR 接頭
· 1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
· 堅固耐用，無故障安裝
· 4-20mA 輸出型獲得不易燃認證，適用于潛在危險區域
· 符合 CE 和 RoHS 標準要求

應用
· 高純度氣體輸送系統
· 半導體過程工具

· 氣柜

1. 非線性、遲滯、非重復性的 RSS 值（方和根）。
2. 產品在 21℃進行標定，最大溫度影響誤差由此數據計算。
3. 僅限電子元件的工作溫度限制，壓力介質的溫度可能明顯較高或較低。
4. 采用 50KΩ 負載進行標定，可在負載 ≥ 5KΩ 時工作。
5. 零點（滿量程）輸出 ：對于 5 VDC 電源，出廠設置在 ±25mV 以內 ；對于 10 VDC 電源，出廠設置在 ±50 mV 以內。
6. 出廠標定時采用 250Ω 負載，24 VDC 電源。
7. 九游会国际备用网址零點輸出的出廠設置在 ±0.08mA 以內，滿量程輸出的出廠設置在 ±0.16mA 以內。